通过安川 MFL2200D 大型液晶玻璃基板搬运机器人可以实现洁净室内多层第6代超大型液晶玻璃基板箱体内的高速搬运!
大型液晶玻璃基板搬运机器人
负载:50KG
动态范围:1675mm
控制柜:DX100
用途:搬运、洁净室
适用于第6代(1500*1850mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬运。
*大化利用长距离上下屈伸、低pass line以及双手臂的特性,实现洁净室内多层液晶玻璃基板箱体内的高速搬运。
*1:依据JIS B8432标准
*2:洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下,来确保工件搬运面以上洁净度。
*3:根据用途、作业形式会有所不同。